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2001以六氟苯經電漿輔助化學氣相沉積非晶型低介電含氟碳膜萬振宇; Wan Cheng - Yu; 裘性天; 莊琇惠; Chiu Hsin–Tein; Chuang Shiow–Huey; 應用化學系碩博士班