微機電製程技術---微加速度計的設計分析與模擬

標題:	微機電製程技術---微加速度計的設計分析與模擬
作者:	邱俊誠 JIN-CHERN(J.C.)CHIOU 交通大學電機與控制工程系
關鍵字:	微加速度計;微機電系統;模擬;Micro-accelerometer;Micro-electro-mechanical system (MEMS);Simulation
公開日期:	2000
官方說明文件#:	NSC89-CS-D009-016
URI:	http://hdl.handle.net/11536/101183 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=542163&docId=99599
顯示於類別：	研究計畫