微機電製程技術---微加速度計的設計分析與模擬

Date

Authors

JIN-CHERN(J.C.)CHIOU

Keywords

微加速度計 , 微機電系統 , 模擬 , Micro-accelerometer , Micro-electro-mechanical system (MEMS) , Simulation

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=542163&docId=99599
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/101183

Collections

研究計畫;;Research Plans