金屬薄膜與矽晶以及絻緣層界面反應研究(II)

標題:	金屬薄膜與矽晶以及絻緣層界面反應研究(II) Interfacial Reactions of Metal Thin Films on Silicon and Dielectric Layers (II)
作者:	陳力俊 CHEN LIH-JUANN 交通大學電子工程系
關鍵字:	金屬薄膜;矽;介電層;Metal thin film;Silicon;Dielectric layer
公開日期:	2000
官方說明文件#:	NSC89-2215-E009-008
URI:	http://hdl.handle.net/11536/101215 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=542193&docId=99608
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