利用鑽石矽複合基板以製作高散熱的高功率發光二極體

Abstract

本計畫是利用人工鑽石顆粒的高導熱性質，製作出高散熱基板。取代原有的LED 基板，進而改善高功率發光二極體在高電流驅動下的散熱問題。其中（1）利用大尺寸 (~200μm)的鑽石顆粒，以有效的利用鑽石的高導熱性質。加上（2）則是利用圖案化的 結構化矽，裸露出矽走道做為切割區域，將可避開直接切割到鑽石導致的問題。

This project is about fabricating high thermal conductivity diamond/Si composite substrate to replace LED substrate. (1) Using 200μm artificial diamond particles to increase substrate thermal conductivity. (2)Using “structure” Si substrate to define the cutting path for LED devices.