靜電式微電源供應器之設計及製作(II)

Abstract

可攜式或遠距使用(remote)的電子產品或系統的電源除了由電池來供應外，目前國 外許多學者正嘗試以功率微機電（power MEMS）的技術，將各種化學能或動能轉 換成電能，以做為微型的整合型電源供應(micro integrated power supply)。 本計畫採用靜電式的動能-電能轉換方式，已於前兩年度針對日常生活中量測到的 120 Hz, 2.25 m/s2 振動，在3.6 V 輔助電源的條件下，於1 cm2 的晶片面積上設計出 ㄧ淨輸出超過200 μW 的微型電源供應器，並完成元件的製作及初步測試。本年度 計畫除改善第二代元件的製程缺失外，將調整設計使之更能與後端電路整合，並設 計出機械性開關，以完成微型電源供應器之設計。此外，本計畫期間亦將針對人體 動作所造成的振動特性進行探討，以設計可應用於個人使用的可攜式感測器中的微 型電源供應器。