一種平整化氮化物基板的方法

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DC 欄位	值	語言
dc.contributor.author	李威儀	en_US
dc.contributor.author	陳奎銘	en_US
dc.contributor.author	吳尹豪	en_US
dc.contributor.author	葉彥顯	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-16T06:11:58Z	-
dc.date.available	2014-12-16T06:11:58Z	-
dc.date.issued	2014-07-01	en_US
dc.identifier.govdoc	H01L021/3065	zh_TW
dc.identifier.govdoc	H01L021/306	zh_TW
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/103298	-
dc.description.abstract	本發明揭露一種平整化氮化物基板的方法，首先選擇獨立式氮化物基板的特定面向，對該面向進行蝕刻，在經過適度的蝕刻時間後，該特定面向的表面會產生特定的形貌，如柱狀或洞狀或平坦狀等結構，從而降低獨立式氮化物基板的翹曲程度以達到平整化氮化物基板的效果。	zh_TW
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.title	一種平整化氮化物基板的方法	zh_TW
dc.type	Patents	en_US
dc.citation.patentcountry	TWN	zh_TW
dc.citation.patentnumber	I443741	zh_TW
顯示於類別：	專利資料

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