標題: | 生化物質感測器及其製造方法 |
作者: | 冉曉雯 蔡娟娟 孟心飛 葉雋正 戴銘志 李長紘 |
公開日期: | 16-Sep-2012 |
摘要: | 本發明係揭露一種生化物質感測器及其製造方法,而生化物質感測器係包含一基板、一閘極、一閘極絕緣層、一主動層、一源/汲極及一生化物質感測層。其中,閘極係設於基板之一面,閘極絕緣層係設於閘極背對基板之一面,主動層係設於閘極絕緣層背對閘極之一面,源/汲極係設於主動層背對閘極絕緣層之一面,而生化物質感測層則設於主動層背對閘極絕緣層之一面,並位於源/汲極之間。 |
官方說明文件#: | G01N033/553 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/103388 |
專利國: | TWN |
專利號碼: | 201237411 |
Appears in Collections: | Patents |
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