標題: 位移量測系統及其方法
作者: 徐桂珠
陳啟昌
詹佳樺
賴暎杰
公開日期: 16-十一月-2010
摘要: 一種位移量測系統,包括一同調光源、一二維光柵、一光感測器及一訊號處理裝置。當同調光入射至二維光柵後,產生一零階光束及多個一階繞射光束。零階光束與其中的兩個一階繞射光束在光感測器上形成不同方向的干涉條紋。因此,當二維光柵移動時,位移量測系統藉由計算不同方向的干涉條紋之相位差,而獲得二維光柵於對應方向上的位移量。此外,當二維光柵旋轉時,位移量測系統藉由一階繞射光束之繞射圖形的旋轉角度,而獲得二維光柵的旋轉量。
官方說明文件#: G01D005/38
URI: http://hdl.handle.net/11536/103678
專利國: TWN
專利號碼: 201040504
顯示於類別:專利資料


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