標題: | 具備透明電極及無裂縫氮化鋁/氮化鎵系列反射鏡之可電激發面射型雷射及其製作方法 |
作者: | 鄭柏孝 陳士偉 邱清華 盧廷昌 郭浩中 王興宗 |
公開日期: | 1-七月-2009 |
摘要: | 一種具備透明電極及無裂縫氮化鋁/氮化鎵系列反射鏡之可電激發面射型雷射及其製作方法,係利用金屬有機氣相沈積法(MOCVD),將超晶格結構穿插使用於下層的氮化鎵/氮化鋁的布拉格反射鏡(DBR)結構,以達到無裂縫及獲得最佳的反射率與反射區段,並藉由電流阻絕層來提高電流集中性及減少漏電流的產生,且在形成上層的布拉格反射鏡結構之前,更加入透明電極做為電流擴散層,除了可以有效的提升透明度,亦可以減少吸收並增加發光效率,從而改善元件特性。 |
官方說明文件#: | H01S005/183 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/103865 |
專利國: | TWN |
專利號碼: | 200929758 |
顯示於類別: | 專利資料 |