三維微探針陣列的組裝結構

Abstract

一種三維微探針陣列的組裝結構,利用墊片(spacer)的概念,疊加單片側向式探針成為三維立體結構,並且使每一片側向式探針之導電片皆於墊片露出,使得導線易於連接,而可同時偵測深度與角度,有效的增進感測可靠度,此外,亦可將相關訊號處理積體電路與墊片整合,更可達到整合電路與降低製造成本的優勢。