| 標題: | 三維微探針陣列的組裝結構 |
| 作者: | 邱俊誠 張志瑋 |
| 公開日期: | 16-五月-2009 |
| 摘要: | 一種三維微探針陣列的組裝結構,利用墊片(spacer)的概念,疊加單片側向式探針成為三維立體結構,並且使每一片側向式探針之導電片皆於墊片露出,使得導線易於連接,而可同時偵測深度與角度,有效的增進感測可靠度,此外,亦可將相關訊號處理積體電路與墊片整合,更可達到整合電路與降低製造成本的優勢。 |
| 官方說明文件#: | G01R001/073 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/103890 |
| 專利國: | TWN |
| 專利號碼: | 200921109 |
| 顯示於類別： | 專利資料 |
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