完整後設資料紀錄
| DC 欄位 | 值 | 語言 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 鄭晃忠 | en_US |
| dc.contributor.author | 邱碧秀 | en_US |
| dc.contributor.author | 史德智 | en_US |
| dc.contributor.author | 郭孟維 | en_US |
| dc.contributor.author | 王志良 | en_US |
| dc.contributor.author | 陳至信 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-12-16T06:12:59Z | - |
| dc.date.available | 2014-12-16T06:12:59Z | - |
| dc.date.issued | 2008-10-01 | en_US |
| dc.identifier.govdoc | H01L029/92 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11536/103949 | - |
| dc.description.abstract | 一種鐵電薄膜電容器,包括一下部電極、一鐵電薄膜介電層及一上部電極。該鐵電薄膜介電層係一第一鐵電薄膜、一易氧化金屬層及一第二鐵電薄膜的三明治夾層結構,藉由該易氧化金屬層表面的易氧化特性,使該易氧化金屬層產生不連續接面,以達到加强該鐵電薄膜電容器的電氣熱穩定特性,降低溫度電容係數及降低漏電流的效果。在該鐵電薄膜電容器的製造方法中,使用熱退火處理可增加該易氧化金屬層表面的氧化。 | zh_TW |
| dc.language.iso | zh_TW | en_US |
| dc.title | 鐵電薄膜電容器及製造方法 | zh_TW |
| dc.type | Patents | en_US |
| dc.citation.patentcountry | TWN | zh_TW |
| dc.citation.patentnumber | 200840059 | zh_TW |
| 顯示於類別： | 專利資料 | |
