標題: | 檢測系統及方法 |
作者: | 彭德保 周正全 |
公開日期: | 1-一月-2008 |
摘要: | 本發明係揭露一種檢測系統及方法,用以檢測具有紋理之一待測加工物,此檢測系統至少包含一架構、一感測器、複數個發光元件及一控制模組。架構係以弧狀結構環境待測加工物,感測器用以產生一影像,發光元件係配置於架構上,控制模組用以控制一角度及一方位之發光元件之開啓或關閉,以產生光束照射予待測日工物,並反射至感測器,以產生影像。 |
官方說明文件#: | H01L021/66 H01L021/60 G01N021/88 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/104024 |
專利國: | TWN |
專利號碼: | 200802661 |
顯示於類別: | 專利資料 |