標題: 檢測系統及方法
作者: 彭德保
周正全
公開日期: 1-Jan-2008
摘要: 本發明係揭露一種檢測系統及方法,用以檢測具有紋理之一待測加工物,此檢測系統至少包含一架構、一感測器、複數個發光元件及一控制模組。架構係以弧狀結構環境待測加工物,感測器用以產生一影像,發光元件係配置於架構上,控制模組用以控制一角度及一方位之發光元件之開啓或關閉,以產生光束照射予待測日工物,並反射至感測器,以產生影像。
官方說明文件#: H01L021/66
H01L021/60
G01N021/88
URI: http://hdl.handle.net/11536/104024
專利國: TWN
專利號碼: 200802661
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