高度陣列式排列的氧化鋁-氧化鋅複合奈米線的製備方法

Abstract

本發明主要揭示了在一種高度陣列式排列的氧化鋁-氧化鋅複合奈米線的製備方法,其步驟至少包括:在鍍有氧化鋅薄膜的矽基板上,經由一種簡單的化學溶液法,在低溫(60-95�C)成長氧化鋅奈米線(或奈米柱),再經過浸入A1離子解膠水溶液,最後再置入氣氛爐中做快速熱處理退火。如此可得到具有單晶的wurtzite結構的氧化鋅奈米線陣列,由SEM分析可以得知,此複合奈米線直徑約為20-100nm。