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dc.contributor.author吳耀銓en_US
dc.contributor.author胡國仁en_US
dc.contributor.author賴育銘en_US
dc.contributor.author侯智元en_US
dc.date.accessioned2014-12-16T06:13:28Z-
dc.date.available2014-12-16T06:13:28Z-
dc.date.issued2006-09-01en_US
dc.identifier.govdocH01L021/316zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/104160-
dc.description.abstract本發明關於利用鎳誘發非晶矽結晶方法而製造出大的多晶矽顆粒,其採取壓印技術以控制多晶矽成長之成核位置,及利用不同指向的矽晶圓當做Ni的晶種層以控制Ni擴散的數量。zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.title利用晶體成長過濾基板而進行鎳誘發非晶矽結晶zh_TW
dc.typePatentsen_US
dc.citation.patentcountryTWNzh_TW
dc.citation.patentnumber200631098zh_TW
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  1. 200631098.pdf

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