標題: 藉由流體雷諾數原理操控之致動器及其製造方法與操作方法
作者: 徐琅
劉承賢
張晃猷
彭慧玲
張傑
公開日期: 1-八月-2005
摘要: 一種藉由流體雷諾數原理操控之致動器,其包括數條固定電極,配置在一基板上;一絕緣層,形成於基板上且覆蓋住上述之固定電極;以及數條可動電極,對應配置於上述固定電極上方之絕緣層上,其中上述之可動電極的一端係固定於絕緣層上,而另一端則遠離絕緣層,以使可動電極向上翹曲。
官方說明文件#: B81B003/00
B81C005/00
URI: http://hdl.handle.net/11536/104243
專利國: TWN
專利號碼: 200524818
顯示於類別:專利資料


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