藉由流體雷諾數原理操控之致動器及其製造方法與操作方法

Abstract

一種藉由流體雷諾數原理操控之致動器，其包括數條固定電極，配置在一基板上；一絕緣層，形成於基板上且覆蓋住上述之固定電極；以及數條可動電極，對應配置於上述固定電極上方之絕緣層上，其中上述之可動電極的一端係固定於絕緣層上，而另一端則遠離絕緣層，以使可動電極向上翹曲。