斜め堆積を用いて生成されたナノ構造薄膜およびその方法

標題:	斜め堆積を用いて生成されたナノ構造薄膜およびその方法
作者:	チア－フアチャンチン－シェンヤンチン－フア，チュペイ－チェンユーハオ－チュンクオ
公開日期:	3-十月-2014
官方說明文件#:	C23C014/24 B82B003/00 C23C014/30 C23C014/58
URI:	http://hdl.handle.net/11536/105798
專利國:	JPN
專利號碼:	5621955
顯示於類別：	專利資料

APA	チア－フアチ., チン－シェンヤ., チ., ペイ－チェンユ., & ハオ－チュンク. (2014). 斜め堆積を用いて生成されたナノ構造薄膜およびその方法. http://hdl.handle.net/11536/105798.
Bibtex	@article{2014, title={斜め堆積を用いて生成されたナノ構造薄膜およびその方法}, author={チア－フアチャン and チン－シェンヤン and チン－フア，チュ and ペイ－チェンユー and ハオ－チュンクオ}, journal={http://hdl.handle.net/11536/105798}, year={2014}, url={https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/105798}, }