| 標題: | ナノワイヤチャネルを有する半導体装置の製造方法およびこの装置を用いた半導体装置の製造方法 |
| 作者: | ポ－イ クオ ティエン－シェン チャオ イ－シェン ル |
| 公開日期: | 9-五月-2014 |
| 官方說明文件#: | H01L029/786 H01L021/336 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/105799 |
| 專利國: | JPN |
| 專利號碼: | 5532071 |
| 顯示於類別： | 專利資料 |
| 標題: | ナノワイヤチャネルを有する半導体装置の製造方法およびこの装置を用いた半導体装置の製造方法 |
| 作者: | ポ－イ クオ ティエン－シェン チャオ イ－シェン ル |
| 公開日期: | 9-五月-2014 |
| 官方說明文件#: | H01L029/786 H01L021/336 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/105799 |
| 專利國: | JPN |
| 專利號碼: | 5532071 |
| 顯示於類別： | 專利資料 |
