標題: | 太陽エネルギ電池のGexSi1-x緩衝層をシリコンウェハ上に形成する方法。 |
作者: | 張翼 唐士軒 林岳欽 |
公開日期: | 25-May-2012 |
官方說明文件#: | H01L031/04 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/105804 |
專利國: | JPN |
專利號碼: | 5001985 |
Appears in Collections: | Patents |
標題: | 太陽エネルギ電池のGexSi1-x緩衝層をシリコンウェハ上に形成する方法。 |
作者: | 張翼 唐士軒 林岳欽 |
公開日期: | 25-May-2012 |
官方說明文件#: | H01L031/04 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/105804 |
專利國: | JPN |
專利號碼: | 5001985 |
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