柱状ナノ構造体（ナノロッド）を利用し発光ダイオード（ＬＥＤ）の発光効率を引き上げる方法

Abstract

【課題】光電気化学（PHOTOELECTROCHEMICAL ,PEC)反応を利用して酸化反応を起こし、柱状ナノ構造体を有する発光ダイオード（ＬＥＤ）を形成する。【解決手段】発光ダイオード（ＬＥＤ）の表面に薄膜金属層をめっきし、それを熱処理した後で金属の顆粒でマスクを形成し、マスクで保護されていない部分にエッチング処理を施し、金属顆粒マスクを取り外して柱状ナノ構造体（ナノロッド）を形成し、続いて、柱状ナノ構造体（ナノロッド）が形成された発光ダイオード（ＬＥＤ）を光電気化学（PHOTOELECTROCHEMICAL ,PEC)反応を利用、それに一定の電流を流し、さらに水銀灯の光を照射し、P型半導体材料を除き、材料の表面積に酸化層１０６を形成し、最後に再度金属層１０７をめっきし、P型半導体材料を導通して、柱状ナノ構造体（ナノロッド）を有する発光ダイオード（ＬＥＤ）を形成する。【選択図】図１Ｆ