高度陣列式排列的氧化鋁-氧化鋅複合奈米線的製備方法

Abstract

本發明主要揭示了在一種高度陣列式排列的氧化鋁－氧化鋅複合奈米線的製備方法，其步驟至少包括：在鍍有氧化鋅薄膜的矽基板上，經由一種簡單的化學溶液法，在低溫(60－95℃)成長氧化鋅奈米線(或奈米柱)，再經過浸入Al離子解膠水溶液，最後再置入氣氛爐中做快速熱處理退火。如此可得到具有單晶的wurtzite結構的氧化鋅奈米線陣列，由SEM分析可以得知，此複合奈米線直徑約為20－100nm。 This invention relates to a highly arrayed AlOx－ZnO nanorods, wherein the Highly arrayed AlOx－ZnO nanorods were fabricated on Si buffered with ZnO film after wet－chemical process at a low temperature (60－95℃), post－immersed in the precursor sol of Al ＋ 3 and treated in atmosphere by rapid thermally annealing. The highly arrayed ZnO nanorods show a single－crystal wurtzite structure with a homogeneous diameter of approximately 20－100 nm. 【創作特點】 有鑑於先前技術於製備氧化鋁－氧化鋅複合奈米線或奈米棒上缺失，本發明之主要目的，即在於揭示一種可在任何基板，如塑膠、矽或氧化物上，且在低溫下，可製作出高度陣列式排列的氧化鋁－氧化鋅(ZnO)奈米線或奈米柱的製程，以此製程完成的氧化鋁－氧化鋅奈米線具有超越先前技術之優越特性，光激發光光譜(PL)更顯示本發明經過快速熱處理退火後，可以有效的降低本質性紫外光區訊號(UV peak @ 377 nm)，使此氧化鋅奈米線之光學性質變好，並可放射很強的藍光。本發明次一目的乃揭露了可利用低溫水溶液製程所製作出的氧化鋁－氧化鋅奈米線因其具有表面缺陷特性，乃可加以運用其他離子例如錳、鎂、等離子的添加，進而發生如綠光、紅光等其他光譜之發光。簡言之，本發明乃是結合此簡易液相溶液法，再配合以水溶液解膠法鍍上氧化鋁在氧化鋅奈米線或奈米棒上，使其變成複合奈米材料，並具有高亮度和高純度的藍光特性。