控制奈米碳管管束密度的方法與奈米碳管的製造方法

Abstract

一種控制奈米碳管管束密度的方法,適於利用一化學氣 相沉積法在一陽極氧化鋁模板的奈米級孔洞內成長奈米碳 管,其特徵在於陽極氧化鋁模板係經由一電解拋光步驟和 之後的兩階段陽極氧化處理,以形成具有陣列排列的奈米 級孔洞;以及利用控制化學氣相沉積法的反應氣氛之種類 與比例,來控制奈米碳管之管束密度。因此,本發明能有 效提昇奈米碳管之應用性。