可調式準直器與具有此種可調式準直器之濺鍍設備

Abstract

一種可調式準直器與具有此種可調式準直器之濺鍍設備，其可調式準直器係由可調式本體、第一準直元件以及第二準直元件所構成。可調式本體具有一內部空間，且其有上部、下部以及上部與下部之間的調整器，這個調整器可調整上部與下部之相對間距。第一準直元件是固設於上部之內部空間中，俾使第一準直元件隨上部移動，而第二準直元件係位於第一準直器下方並固設於下部之內部空間中，俾使第二準直元件隨上部移動。當可調式準直器應用於濺鍍設備時，能藉由調整上部與下部的相對間距來控制入射的濺鍍材料分子角度。