積體電路製程及設備技術手冊

標題:	積體電路製程及設備技術手冊
作者:	張俊彥
公開日期:	1997
出版社:	中華民國產業科技發展協進會
URI:	http://webpac.lib.nctu.edu.tw/F/?func=item-global&doc_library=TOP01&doc_number=000833653 http://hdl.handle.net/11536/107424
ISBN:	9579977666
Appears in Collections:	Books