藉由氧化鈦造成吸附聚集效應影響氧化銦鎵鋅與氧化銦鋅薄膜電晶體特性

標題:	藉由氧化鈦造成吸附聚集效應影響氧化銦鎵鋅與氧化銦鋅薄膜電晶體特性 Gettering Effect Induced by Oxygen-Deficient Titanium Oxide in InZnO and InGaZnO Channel Systems
作者:	董建宏 Tung, Chien-Hung 張俊彥林建中 Chang, Chun-Yen Lin, Chien-Chung 光電系統研究所
關鍵字:	氧化銦鎵鋅;氧化銦鋅;薄膜電晶體;InGaZnO;InZnO
公開日期:	2015
URI:	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#GT070258015 http://hdl.handle.net/11536/127297
Appears in Collections:	Thesis