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dc.contributor.author陳澤龍en_US
dc.contributor.author裘性天en_US
dc.contributor.author李紫原en_US
dc.date.accessioned2015-12-04T07:03:24Z-
dc.date.available2015-12-04T07:03:24Z-
dc.date.issued2015-08-11en_US
dc.identifier.govdocB82B001/00zh_TW
dc.identifier.govdocB82B003/00zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/128750-
dc.description.abstract一種一維鈦金屬奈米結構之製造方法,其步驟包含:將一耐溫基材與一鈦金屬(Ti)置入一化學氣相沉積反應爐中;及利用一載流氣體將一四氯化鈦(TiCl4 )帶入該化學氣相沉積反應爐和該鈦金屬進行反應,且反應溫度為300~900℃,沉積溫度為200~850℃,該載流氣體之流量為0.1~50sccm,反應時間為5~60小時,使該四氯化鈦與該鈦金屬反應為一亞氯化鈦,再經由熱裂解而生成一一維鈦金屬奈米結構於該耐溫基材上。zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.title一維鈦金屬奈米結構及其製造方法zh_TW
dc.typePatentsen_US
dc.citation.patentcountryTWNzh_TW
dc.citation.patentnumberI495612zh_TW
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  1. I495612.pdf

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