多層垂直式感測器及其製造方法、以及應用多層垂直式感測器的感測系統、感測方法

Abstract

一種多層垂直式感測器包含一基板；一底部電極；以及複數個可穿透電極組結構。底部電極、可穿透電極組結構依序設置於基板上，每一可穿透電極組結構包含：感測層及可穿透電極層。可穿透電極層包含複數個孔洞用以供待測氣體穿入，且一部分可穿透電極層與感測層交疊，介於兩可穿透電極層之間的感測層包含一氣體可穿透結構。利用多層可穿透電極組結構，使待測氣體能夠在各感測層之間自由移動，並與感測層發生反應，並藉由量測反應產生的電性變化達到準確感測目的。上述感測器的製造方法、應用上述感測器的感測系統、感測方法亦於此處被提出。