超大型電晶體陣列式電氣參數測試裝置

Abstract

本發明係揭露一種超大型電晶體陣列式電氣參數測試裝置，其包含複數測試晶胞，每一測試晶胞更包含一待測場效電晶體與一控制場效電晶體，該控制場效電晶體之源極連接該待測場效電晶體之汲極或源極。每一測試晶胞依序被選擇作為待測晶胞。在待測晶胞進行量測時，在此待測晶胞中之該控制場效電晶體工作於飽和區或次臨界電壓區，使其汲極電流主要由其閘極與源極之電壓差所決定，藉由控制此待測晶胞的控制場效電晶體之閘極電壓以設定此待測晶胞的該待測場效電晶體之汲極或源極電壓，以準確量測此待測晶胞之待測場效電晶體之電氣參數。