標題: | 半導體裝置及其製造方法 |
作者: | 簡昭欣 潘正聖 周承翰 |
公開日期: | 1-Oct-2016 |
摘要: | 本揭露係關於一些半導體裝置及其製造方法。在一實施例中,一半導體裝置及其製造方法包括圖案化一基底,使基底具有一第一區域以及延伸自基底的第一區域的一第二區域。沉積一隔離層於基底的第一區域的一表面上,以及磊晶形成一源極/汲極區域,其中源極/汲極區域位於隔離區上且鄰接基底的第二區域的數個側壁。 |
官方說明文件#: | H01L021/336 H01L029/41 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/132310 |
專利國: | TWN |
專利號碼: | 201635390 |
Appears in Collections: | Patents |
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