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Reliability study of high-k La2O3/HfO2 and HfO2/La2O3 stacking layers on n-In0.53Ga0.47As metal-oxide-semiconductor capacitor 12

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Reliability study of high-k La2O3/HfO2 and HfO2/La2O3 stacking layers on n-In0.53Ga0.47As metal-oxide-semiconductor capacitor 0 0 0 1 5 2 3

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