氮化鎵薄膜磊晶在圖案化基板上

标题:	氮化镓薄膜磊晶在图案化基板上 Epitaxy of GaN Film on Patterned Substrate
作者:	吴佩瑜吴耀铨 Wu, Pei-Yu Wu, YewChung-Sermon 材料科学与工程学系所
关键字:	氮化镓;图案化蓝宝石基板;发光二极体;磊晶;有机金属化学气相沉积;氮化铝;碳化矽基板;GaN;patterned sapphire substrate;LED;epitaxy;MOCVD;AlN;SiC;light-emitting diode
公开日期:	2017
URI:	http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070151605 http://hdl.handle.net/11536/142344
显示于类别：	Thesis

APA	吴., 吴., Wu, P., & Wu, Y. (2017). 氮化镓薄膜磊晶在图案化基板上. http://hdl.handle.net/11536/142344.
Bibtex	@article{吴佩瑜 and 吴耀铨 and Wu2017, title={氮化镓薄膜磊晶在图案化基板上}, author={吴佩瑜 and 吴耀铨 and Wu, Pei-Yu and Wu, YewChung-Sermon}, journal={http://hdl.handle.net/11536/142344}, year={2017}, url={https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/142344?locale=zh_CN}, }