標題: | 主動層厚度對可撓式基板上低溫多晶矽薄膜元件之影響 Effect of Active Layer Thickness on the Performance of LTPS TFTs on the Flexible Substrate |
作者: | 趙玟雅 吳耀銓 Chao, Wen-Ya 平面顯示技術碩士學位學程 |
關鍵字: | 薄膜電晶體;可撓式基板;雷射結晶;非晶矽;低溫多晶矽;主動層;TFT;LTPS;ELA;a-Si;p-Si;active layer |
公開日期: | 2016 |
URI: | http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT079687511 http://hdl.handle.net/11536/143310 |
顯示於類別: | 畢業論文 |