標題: 主動層厚度對可撓式基板上低溫多晶矽薄膜元件之影響
Effect of Active Layer Thickness on the Performance of LTPS TFTs on the Flexible Substrate
作者: 趙玟雅
吳耀銓
Chao, Wen-Ya
平面顯示技術碩士學位學程
關鍵字: 薄膜電晶體;可撓式基板;雷射結晶;非晶矽;低溫多晶矽;主動層;TFT;LTPS;ELA;a-Si;p-Si;active layer
公開日期: 2016
URI: http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT079687511
http://hdl.handle.net/11536/143310
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