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| Ab Initio Chemical Kinetics for SiHx Reactions with Si2Hy (x=1,2,3,4; y=6,5,4,3; x plus y=7) under a-Si:H CVD Condition | 5 |
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| Ab Initio Chemical Kinetics for SiHx Reactions with Si2Hy (x=1,2,3,4; y=6,5,4,3; x plus y=7) under a-Si:H CVD Condition | 1 | 0 | 0 | 1 | 2 | 1 | 0 |
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