標題: 氣體感測器封裝結構
作者: 邱俊誠
蔡尚瑋
郭光哲
楊自森
公開日期: 1-Nov-2018
摘要: 一種氣體感測器封裝結構,包含一氣體感測器及一電性接著單元。該氣體感測器包括一基板、一絕緣層單元,及一感測層。該基板界定出至少一氣體感測槽,並具有一第一面、一第二面,及與該至少一氣體感測槽連通的第一開口單元與第二開口單元。該絕緣層單元設置於該基板的該第二面並封閉該第二開口單元。該感測層設置於該絕緣層單元並裸露於該至少一氣體感測槽。該電性接著單元與該感測層電連接,並包括多個設置於該絕緣層單元的電性支撐塊。
官方說明文件#: H01L023/10
H01L023/31
H01L027/06
URI: http://hdl.handle.net/11536/151492
專利國: TWN
專利號碼: 201839919
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