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dc.contributor.author鄭晃忠zh_TW
dc.contributor.author廖湛宇zh_TW
dc.contributor.author李一劭zh_TW
dc.contributor.author吳俊毅zh_TW
dc.contributor.author王冠宇zh_TW
dc.date.accessioned2019-04-11T06:20:40Z-
dc.date.available2019-04-11T06:20:40Z-
dc.date.issued2019-01-01en_US
dc.identifier.govdocH01L021/268en_US
dc.identifier.govdocH01L021/324en_US
dc.identifier.govdocH01L021/336en_US
dc.identifier.govdocH01L029/78en_US
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/151514-
dc.description.abstract一種製造多晶半導體薄膜的方法,包含:形成半導體層於基板上;形成覆蓋層於半導體層上;使用雷射光穿透覆蓋層,加熱半導體層使半導體層部分熔融,其中未熔融之另一部分包含多個固態顆粒;以及移除雷射光,使熔融部分之半導體層以固態顆粒為晶種進行再結晶,以形成多晶半導體薄膜。zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.title多晶半導體薄膜、薄膜電晶體及其製造方法zh_TW
dc.typePatentsen_US
dc.citation.patentcountryTWNen_US
dc.citation.patentnumber201901755en_US
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  1. 201901755.pdf

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