光學應力感測元件、系統及方法

Abstract

本發明提供一種光學應力感測元件，乃將至少兩個光學應力感測單元包覆於一包覆體內而可受應力作用來產生形變，其中，每個光學應力感測單元是由多個奈米柱體沿著單一排列方向所構成，這些光學應力感測單元於平面上是以相對於一座標軸夾不同角度來排列，且其兩兩相鄰的夾角為銳角。當光學應力感測元件在平面上受到一未知應力，可透過各光學應力感測單元之光學共振波長變化與資料庫比對後，而感知應力之方向、種類與大小。此外，本發明還提出一種基於該光學應力感測元件之感測系統及感測方法。