| Title: | 具寬能隙氧化物之深紫外線感測裝置 |
| Authors: | 洪瑞華 李彥助 董俊沂 蔡錫翰 鄭力中 |
| Issue Date: | 1-Apr-2019 |
| Abstract: | 本發明為一種具寬能隙氧化物之深紫外線感測裝置，其利用一氧化物磊晶感測層設置於基板，使深紫外線(Deep Ultraviolet)感測裝置具較佳之特性， ，且進一步使深紫外線刺激氧化物磊晶感測層之光電流大幅增加，特別是針對深紫外光波段(280-200 nm)之感測效能大為提升。 |
| Gov't Doc #: | H01L027/14 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/151531 |
| Patent Country: | TWN |
| Patent Number: | 201913979 |
| Appears in Collections: | Patents |
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