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English
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目前位置:
國立陽明交通大學機構典藏
學術出版
專利資料
標題:
具寬能隙氧化物之深紫外線感測裝置
作者:
洪瑞華
李彥助
董俊沂
蔡錫翰
鄭力中
公開日期:
1-四月-2019
摘要:
本發明為一種具寬能隙氧化物之深紫外線感測裝置,其利用一氧化物磊晶感測層設置於基板,使深紫外線(Deep Ultraviolet)感測裝置具較佳之特性, ,且進一步使深紫外線刺激氧化物磊晶感測層之光電流大幅增加,特別是針對深紫外光波段(280-200 nm)之感測效能大為提升。
官方說明文件#:
H01L027/14
URI:
http://hdl.handle.net/11536/151531
專利國:
TWN
專利號碼:
201913979
顯示於類別:
專利資料
文件中的檔案:
存到雲端
201913979.pdf
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