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| Indentation-Induced Mechanical Deformation Behaviors of AlN Thin Films Deposited on c-Plane Sapphire | 114 |
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| Indentation-Induced Mechanical Deformation Behaviors of AlN Thin Films Deposited on c-Plane Sapphire | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 |
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