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| Argon ion-implantation on polysilicon or amorphous-silicon for boron penetration suppression in p(+) pMOSFET | 121 |
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| Argon ion-implantation on polysilicon or amorphous-silicon for boron penetration suppression in p(+) pMOSFET | 0 | 2 | 0 | 1 | 7 | 1 | 0 |
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