以高級氧化程序回收TFT-LCD製程廢水之研究

Abstract

本研究以TFT-LCD光電廠之有機廢水為研究對象，其有機廢水量約佔總廢水量之三分之一以上，以目前對水資源保育的觀念，一般設廠環評要求，階達成回收率80%以上為目標，因此製程有機廢水回收再利用將勢在必行。而原水若要回收至製程中依目前的要求必須符合TOC<0.8 ppm、導電度<100 μs/cm及pH介於7至8等水質品質，因此回收再利用之技術應積極的研究與開發。 本研究以八德某TFT-LCD廠之有機廢水，經過MBR處理後之出流水及不同回收率之RO系統處理之出流水，再以數種高級氧化程序如UV、雙氧水、臭氧、GAC、臭氧/UV、UV/雙氧水、臭氧/雙氧水等，探討降解TOC<0.8 ppm的可行性，及在降解過程中pH及導電度的變化、反應前後之物種變化、TOC降解之動力式、在反應過程中之降解效率等，以做為實廠評估回收處理程序時使用。 由於在處理回收時，除了考量各操作之去除效率外，另外在在成本上也必須加以考慮，因此在比較評估後的結果，選用最低廉之雙氧水及次低廉之UV部份來探討。但雙氧水目前只能處理至回收率50%之水質，而UV系統則可處理至回收率75%的水質。兩者並使用實驗設計模式來探討TOC降解動力式、成本評估模式及在不同因子操作下之最佳化操作模式等。 使用雙氧水處理RO回收率50%的水質每月的最低成本為10.7萬元，而使用UV處理50%的水質每月的最低成本為97.3萬元，若是處理75%的水質每月的最低成本為175.2萬元。在去除效率方面最好的為臭氧。