標題: 利用低壓化學氣相堆積法成長之複晶矽電阻器所組成的溫度計
作者: 鍾英漢
Zhong, Ying-Han
吳慶源
Wu, Qing-Yuan
電子研究所
關鍵字: 氣相堆積法;複晶矽電阻器;電阻器;溫度器;互補式金氧半場效;電晶體;低壓化學氣相堆積;電子工程;ELECTRONIC-ENGINEERING
公開日期: 1982
摘要: 本文利用低壓化學氣相堆積法研製複晶矽電阻器,以作為在互補式金氧半場效電晶體 多諧振盪器內的溫度敏感電阻,並組成溫度計。此溫度計能在攝氐二十五度到四十五 度之間準確地測量溫度。本文所研製的溫度計具有穩定、低電力、高敏感度、及將乎 線性等特性,其工作原理和實驗結果均在文中詳細地敘。 本文亦將複晶矽電阻器所組成之熱阻體的溫度效應關係式推導出來,並研製具有磷雜 質的複晶矽電阻器,以證明計算機模擬的結果。 本文亦把複晶矽的傳導模型做一個複習,同時亦針對計算機模擬所發現之空乏近似的 失效加以詳細討論。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT714428030
http://hdl.handle.net/11536/51752
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