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dc.contributor.author余宗吉en_US
dc.contributor.authorYU, ZONG-JIen_US
dc.contributor.author曾俊元en_US
dc.contributor.authorZENG, JUN-YUANen_US
dc.date.accessioned2014-12-12T02:03:07Z-
dc.date.available2014-12-12T02:03:07Z-
dc.date.issued1984en_US
dc.identifier.urihttp://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT732430023en_US
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/52074-
dc.description.abstract本實驗製造的模型片是由圓形,幾近同樣大小,非結晶的二氧化矽粒子規則推積而成 。在水氣、空氣、氮氣、氯化氫氣中以攝氏一千度的溫度燒結此模型卡,得到不同的 燒結速率。燒結密度與時間的關係非常合乎MACKENZIESHUTTLEWORTH 以及SCHERER 的 理論。在不同的的燒結氣氛下,得到不同的表面張力能與黏度比率。本實驗同時採用 離子束侵削系統對已拋光的樣品表面進行單向蝕刻,燒結過程中的微結構變化情形便 可藉掃描式電子顯微鏡清楚地觀察到。本實驗同時研究同樣地積方式但不同顆粒大小 ,以及同顆粒大小但不同推積方式的二氧化矽片燒結情形。溶液 pH 值對製造二氧化 矽綠片的密度影響亦在本文中探討。zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.subject二氧化矽zh_TW
dc.subject燒結zh_TW
dc.subject氣氛zh_TW
dc.title不同氣氛對模型二氧化矽片的燒結影響zh_TW
dc.typeThesisen_US
dc.contributor.department電子研究所zh_TW
顯示於類別:畢業論文