砷化鋁鎵╱砷化鎵紅外光及紅光半導體雷射之研製

Abstract

砷化鋁鎵╱砷化鎵半導體雷射是目前應用較廣的一種雷射。本研究工作使用實驗室已 建立的液相磊晶系統成功地製成砷化鋁鎵╱砷化鎵紅外光及紅光雷射二極體，其為雙 異質高阻抗限流條狀結構。我們利用掃描式電子顯微鏡檢查液態磊晶成長序重磊晶層 結構之剖面圖，再測量所製成雷射二極體之電流─電壓關係、光強度─電流關係、光 譜波長等特性。所測得之紅外光雷射二極體，良好者其起始電流約１００mA量子效率 約４５％，光譜波長則在８７５０ 附近，而紅光雷射二極體其特性較差。本研究在 製作半導體雷射之技術上，已有相當的進步，所得到之製作技術，將有助於未來繼續 的研究工作。