使用散射板干涉儀做非球面測試

Abstract

在本論文中提出一個使用散射板干涉儀做為測量非球面鏡的新方法。散射板干涉儀所 得的干涉條紋圖樣（interferogram） 是根據待測面鏡的形狀與干涉儀中散射板的離 焦（defocus） 距離等兩個因素所決定。因此，本方法即是連續移動干涉儀中散射板 的位置，並取得散射板在各對應位置時的干涉條紋圖樣。然後由這些干涉條紋圖樣上 各座標點強度的灰度值以及散射板的離焦距離等兩項已知值，使用數值分析中的最小 平方差法則，配合光筆的運用，以求得待測面鏡的形狀。