光學計數系統

Abstract

本論文研究目的在改善過去設計之一自動化光學計數系統，以便訊速且精確地計數出 一平面上許多不規則的晶方數目。 工廠在半導體晶片製造完成後，一個極大的晶片經過切割成晶方再經分離，和劣品檢 出的過程，最後一整片晶片上的晶方數量已無法確定，必須重新計數，否則在內部物 料流程及市場交易時，將造成物料盤點和銷貨點數的困擾。國內的工廠對此種計數， 以前仍利用人眼估計，但因晶方已無規則排列形狀，致使計數的正確性相當不可靠。 例如發光二極體（LED ）之類的個立元件，細小，量多，而價值低，如果利用人工計 數將使成本提高，利潤減低。 在研究中，設計一個打光投影的結構，以光自動回授控制電路調變光源，使光源能達 到取得物最佳影像的光度。此時光透過擴散片產生均勻的平面光，源從物的正上方投 射在物（晶片）的表面。啟動掃瞄器使CCD 線性地攝取（grabbing）物的影像，接著 影像資料從類比訊號轉換成二位元的數位影像訊號。以DMA 方式把資料輸入電腦的記 憶體儲存，以便利軟體處理。軟體程式可將掃瞄進來的圖像分割成等分的八頁，以原 始解析度顯示在監示器上，使利檢視所取得影像的好壞。啟動雷射印表機，可將影像 列印成原物大小的圖像，作為存檔備查用。 利用三種軟體計數方法，把晶片的總晶方數目計數出來，最好的一種其計數結果誤差 約在±０．１％以下。本系統一次可在３分鐘以內計數最多四萬個規則排列的晶方數 目，不但節省了人工計數的費時和不準確，且更優於以前我們所發展的系統，深具有 經濟價值。